具体操作请参考设备说明书、真空镀膜机仪表板上的指针显示和每个旋钮下的说明。
①检查真空镀膜设备各操作控制开关是否处于“关”位置。
打开主电源开关,接通真空镀膜设备电源。
拔出低压阀。打开充气阀后,听不到气流声,启动钟罩阀,钟罩上升。
(4)安装固定钨丝螺旋加热器。PVDF膜和铝盖板固定在转盘上。铝线穿过螺旋加热器。清洗钟罩的所有部件,确保无杂质和污物。
放下钟罩。
⑥启动真空镀膜设备的真空泵。
⑦开放式复合真空计电源(复合真空计型号:FZH-1A)。
A.顺时针旋转左侧旋钮“1”至指向第二节的加热位置。
B.低真空表“2”上的指针顺时针移动。当指针移动到110mA时,左侧旋钮“1”旋转到指向第二节的测量位置。
当低真空表“2”上的指针再次顺时针移动到6.7PA时,将低压阀推入。然后将左侧旋钮“1”旋转到指向1段的测量位置。
⑨打开真空镀膜设备的冷却水,启动扩散泵,加热40min。
⑩低压阀拔出。重复⑦动作步骤:将左下旋钮“1”旋转到指向2段的测量位置。低真空表“2”上的指针顺时针移动。当指针移至6.7Pa时,打开高压阀(阀杆顺时针旋转)。
当低真空表“2”上的指针右移到0.1Pa时,打开稳压器的灯丝开关。
A.发射和零点测量按钮“9”旋转到发射位置。
B.旋转左下旋钮“1”至指向第1节的测量位置。
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