
PVD真空镀膜作业步骤:
准备工作
1.镀膜前洗净
2.抽检镜片外观确认(裂边,伤痕,不洁)情况,全检镜片锁板情况(镜片倾斜)
3.确认好准备镀膜的镜片(数量,机种,面别)并做好相应记录
4.上伞,将镜片从包装盒内装到镀膜机台伞架上(主意带手套拿取镀膜板四周,勿碰到镜片
5.区分需要镀膜镜片种类面别
6.清洁坩埚电子枪周围用铜刷刷,吸,并添加药材
7.确认晶振片,监控片是否OK在新的位置
8.确认机台内无杂物,后关门排气加热
9.镀膜,选取相应的制程
10.人员镀膜过程中进行监控
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