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真空镀膜加工表面的清洁处理非常重要，直接影响到电镀产品的质量。工件进入涂装间前，必须仔细清洗。表面污染来自加工、传递、包装过程中附着在工件上的各种灰尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗水等物质。为了避免加工过程中产生的缺陷，真空镀膜厂家基本上可以通过脱脂或化学清洗的方法去除。
对于清洗处理后的被清洗表面，不应存放在大气环境中，而应存放在密闭容器或清洗柜中，以减少灰尘的污染。通过将玻璃基板储存在新氧化的铝容器中，可将碳氢化合物蒸汽的吸附降至低。因为这些容器优先吸收碳氢化合物。对于高度不稳定和水蒸气敏感的表面，真空涂层应存放在真空干燥箱中。
PVD真空镀膜工艺对环境的基本要求是除去镀膜室内的灰尘，建立洁净车间，保持室内清洁。在空气湿度较高的区域，除了在电镀前仔细清洁真空室中的基板和零件外，还应进行烘烤和脱气。为防止油进入真空室，注意油扩散泵的回油，对加热功率大的扩散泵采取堵油措施。
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